非接觸硅片分選系統(機械手傳送)

  • 產品型號:NC-3000R
  • 制造原廠:Napson Corp.

NC-3000R是由日本Napson公司推出的全自動非接觸式硅片分選儀。它運用機械手的傳輸方式,通過量測硅片的電阻率,PN型及厚度,為硅片進行分檔歸類,便于客戶的產品規格分類,可以支持多種尺寸的半導體硅片。


  • 測量精度高,覆蓋大尺寸硅片

  • 利用機械手進行硅片傳輸

  • 非接觸式測量電阻率,厚度及P/N極性

  • 運用緊湊型設計雙平臺來滿足測量和傳輸區域

  • Cassette數量可根據客戶需求設計

  • 選件:硅片平整度測量(FLA-200)   


  • 樣品尺寸:
    12寸,或6寸,8寸

  • 測量范圍:
    電阻率: 1m ~ 200Ω?cm
    厚度: 150 ~ 800μm (300μm 至 150~800μm)

  • 該測量范圍由低,中,高,超高阻值的不同測量探頭來覆蓋    

    低:0.01 - -0.5 Ω/sq (0.001 - 0.05 Ω.cm)

    中:0.5 -10 Ω/sq (0.05 - 0.5Ω.cm)

    高:10 - 1000 Ω/sq (0.5 - 60 Ω.cm)

    超高:1000 - 3000 Ω/sq (60 - 200 Ω.cm)


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