NC-3000R是由日本Napson公司推出的全自動非接觸式硅片分選儀。它運用機械手的傳輸方式,通過量測硅片的電阻率,PN型及厚度,為硅片進行分檔歸類,便于客戶的產品規格分類,可以支持多種尺寸的半導體硅片。
測量精度高,覆蓋大尺寸硅片
利用機械手進行硅片傳輸
非接觸式測量電阻率,厚度及P/N極性
運用緊湊型設計雙平臺來滿足測量和傳輸區域
Cassette數量可根據客戶需求設計
選件:硅片平整度測量(FLA-200)
樣品尺寸:
12寸,或6寸,8寸
測量范圍:
電阻率: 1m ~ 200Ω?cm
厚度: 150 ~ 800μm (300μm 至 150~800μm)
該測量范圍由低,中,高,超高阻值的不同測量探頭來覆蓋
低:0.01 - -0.5 Ω/sq (0.001 - 0.05 Ω.cm)
中:0.5 -10 Ω/sq (0.05 - 0.5Ω.cm)
高:10 - 1000 Ω/sq (0.5 - 60 Ω.cm)
超高:1000 - 3000 Ω/sq (60 - 200 Ω.cm)