場強監控系統

  • 產品型號:Qstream-FM
  • 制造原廠:QUATEK

Qstream-FM 系列是場強計監控系統。基于特殊的場強傳感器,它可以提供與EOS/ESD過程相關的精確的非接觸測量。Qstream還提供數據采集,可將測量結果上傳到客戶主機系統或在自有軟件中顯示,可通過多種設置進行遠程報警和報告,易于安裝在工藝設備內部。

測量范圍

Qstream-FM-20k: ±20kV直流或峰值交流

測量精度

優于整量程5%±讀數2數位

探針與表面距離

Qstream-FM-20k: 25 mm


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