高精度半自動四探針電阻率測試儀

  • 產品型號:RT-3000/RG-2000(3000)
  • 制造原廠:Napson Corp.

RT-3000/RG-2000(3000)是由日本Napson公司推出的高精度半自動四探針電阻率量測設備。它可以通過電腦進行控制,編輯測試需要測試的硅片大小,測試點位,運用四探針電阻率量測的原理進行多點測量,可以通過軟件輸出2D/3D Mapping圖,更高效的完成測量任務。


用戶可編程的測量模式和可編程的測量模式


測試儀擁有自檢功能,測量范圍寬


以及硅片的厚度,邊緣和溫度校正


金屬薄膜厚度轉換等功能




應用:半導體材料、太陽能電池材料(硅、多晶硅、碳化硅等),新材料、功能材料(碳納米管、DLC、石墨烯、納米銀線等)

導電薄膜(金屬、ITO等),擴散層,硅相關外延材料,離子注入樣品。

有多點測量功能(最大1225點),支持Mapping功能,提供2D圖/3D圖像分析。


測試數據可通過CSV格式文件導出。


符合以下ASTM & JIS的要求 JIS H 0602-1995,JIS K 7194-1994。


        < ASTM > 


        ASTM F 84 - 99(SEMI MF84)


        ASTM f374 -00a,


        ASTM F 390-11,


        ASTM F 1529-97


樣品尺寸:

RT-3000/RG-2000支持最大8寸

RT-3000/RG-3000支持最大12寸


測量范圍:

V/I 電阻: 1m ~ 3M ohm

方阻: 1m ~ 10M ohm/sq

電阻率: 1μ ~ 1M ohm.cm


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